徕卡生物显微镜电子探针x射线微区分析装置有1．电子光学系统、2．样品室、3·谱仪及记录装置及捕助装置。以下分别介绍。
徕卡显微镜电子光学系统
徕卡生物显微镜相当于扫描电子显微镜的电子光学系统‘所不同之处是：L出射的电子束束流强度要大，而且要稳定。电子束直径一般为iP、不能因缩小电子轰击区而过分缩小电子束直径，因为束流强度与京的半径8／3次方成正比。2．发射电子之间能量的离散要小。因此往往采用热电子发射的三极电子枪。3物镜的中心不能太小。因为X射线以大角度射出，为了提高谱仪效率也必须大角度收集。因此物镜线圈所占空间要大为缩小。办法之一是用小线圈透镜，通强电流。但电流强产热多，就必须用冷阱冷却物镜。
徕卡生物显微镜生物医学标本常用冰冻超薄切片。由于x射线收集时间长达几十秒甚至100秒。束流强度很大的电子束在这样长的时间内轰击标本会把标本烧毁，因此必须注入液氮，使标本温度在一800c以下。诺仪可对待征x射线进行波长及能量分析。进行波长分析时的被语仪主要是合适的分光晶体，在一定角度使x射线产生衍射。目前多用的是对特征x射线进行能量分析的能谱仪。电镜室常用的是51(u)x射线能诺仪。它的探测器是si(H)二极管理漂移硅型)。这种半导体探测器可以看作一种“固体电离室”。当x射线进入探测器后，在半导体的灵敏区内损耗能量产生电子一空穴时，将它们收集后可形成电脉冲记录下来*由于si(Li)半导体的灵敏区大，所以探测效率高。又由于产生一个电子一空穴时所需的平均能量很低，所以这种探测器灵敏度和统计特性都比较好。s1(Li)能谱仪的分析速度快，可以同时分析和确定样品中含有的原子序数z＞11的所有元素。虽然该类能诺仪的缺点是能量分析率低，约150ev(波谱仪约5ev)，但由于快速分析及效率高等突出优点，目前已成为扫描电镜和透射电镜上的主要附件(图lo一6)。能谱仪都与计算机连用。荧光屏上不但显示特征x射线谱，而且计算机技能量分布依次给出元素名称及浓度。
备注:徕卡显微镜仪器结构特点部分文章由徕卡北京办事处编辑上传。